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摘要:本发明提供光源装置和曝光装置。不使用透镜阵列,使用密集地配置有多个LED裸片的封装,减小光学系统的尺寸。一种光源装置,其是对涂布于基板的感光材料进行曝光的曝光装置用的光源装置,其中,所述光源装置具有:第一LED阵列光源和第二LED阵列光源,它们发出不同波长的紫外光;棱镜,从第一和第二LED阵列光源发出的发散光入射到该棱镜;均匀化单元,来自棱镜的光入射到该均匀化单元;以及透光区域,其配置在棱镜与均匀化单元之间,该透光区域的折射率小于棱镜的折射率。
主权项:1.一种光源装置,其是对涂布于基板的感光材料进行曝光的曝光装置用的光源装置,其中,所述光源装置具有:第一LED阵列光源和第二LED阵列光源,它们发出不同波长的紫外光;棱镜,从所述第一LED阵列光源和所述第二LED阵列光源发出的发散光入射到该棱镜;均匀化单元,来自所述棱镜的光入射到该均匀化单元;以及透光区域,其配置在所述棱镜与所述均匀化单元之间,该透光区域的折射率小于所述棱镜的折射率。
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百度查询: 株式会社ORC制作所 光源装置和曝光装置
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