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摘要：本发明涉及一种双台面曝光机及曝光方法，包括基座、左运动平台、右运动平台、对位系统和曝光系统，左运动平台包括第一Y轴组件、第一Z轴组件和第一吸盘组件，第一吸盘组件上设置有第一夹板组件和第一感光标尺，右运动平台具有第二Y轴组件、第二Z轴组件和第二吸盘组件，第二吸盘组件上设置有第二夹板组件和第二感光标尺，还包括：数据处理系统，其包括计算平台，用于计算第一感光标尺和第二感光标尺的曝光数据与初始数据间的误差得到补偿数据，且在每次曝光之前对位系统和曝光系统进行位置补偿。本发明在每次曝光之前对位系统和曝光系统进行位置补偿，保证了对位的精度，且不影响曝光效率。
主权项：1.一种双台面曝光机，包括基座1、左运动平台、右运动平台、对位系统和曝光系统，左运动平台包括第一Y轴组件2、第一Z轴组件3和第一吸盘组件4，第一吸盘组件4上设置有第一夹板组件5和第一感光标尺6，右运动平台具有第二Y轴组件7、第二Z轴组件8和第二吸盘组件9，第二吸盘组件9上设置有第二夹板组件10和第二感光标尺11，其特征在于，还包括：数据处理系统，其包括计算平台17，用于计算第一感光标尺6和第二感光标尺11的曝光数据与初始数据间的误差得到补偿数据，且在每次曝光之前对位系统和曝光系统进行位置补偿。
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权利要求：
百度查询： 锡凡科技(滁州)有限公司 一种双台面曝光机及曝光方法
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