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摘要：本发明公开了一种铌酸锂调制器，其通过利用同轴传输线实现阻抗匹配部件，可以在提高调制器S11带宽的同时，允许阻抗匹配部件与射频连接器和调制器外壳一体集成，与现有基于共面波导方式实现的阻抗匹配部件相比，提高了调制器的集成度，减小了调制器尺寸及部件数量，使调制器的整体可靠性得到提升。此外，还简化了铌酸锂调制器芯片的设计要求，允许增加芯片设计中关键参数的冗余度包括火线宽度、电极间距、电极厚度等，对提高器件的带宽、降低半波电压有明显改善效果。并且，通过减小芯片宽度，可以使相同尺寸晶圆的芯片产率得以提升，这对于高速铌酸锂调制器的工业应用是极其有利的。
主权项：1.一种铌酸锂调制器，其包括电极单元和射频信号接入结构；所述射频信号接入结构用于将射频信号接入电极单元，且包括射频连接器和阻抗匹配部件；所述射频连接器用于通过同轴传输线连接射频信号源；所述阻抗匹配部件设置于射频连接器和电极单元之间，用于以同轴传输线的形式实现射频连接器与电极单元之间的阻抗匹配。
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