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一种完全等光程外差激光干涉仪及其测量方法 

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摘要:一种完全等光程外差激光干涉仪及其测量方法,属于光学测量技术领域。为克服现有的非共光路外差激光干涉仪均难以满足光程完全平衡的问题,本发明偏振分光棱镜的上侧端面贴附有角锥棱镜、下侧端面贴附有四分之一波片、左侧端面贴附有第一补偿玻璃、第一二分之一波片,偏振分光棱镜的右侧端面并列贴附有第二补偿玻璃、第二二分之一波片;第一补偿玻璃、第一二分之一波片的左侧贴附有第一koester棱镜,第一koester棱镜的出光面贴附有第一偏振片;第二补偿玻璃、第二二分之一波片的右侧贴附有第二koester棱镜,第二koester棱镜的出光面贴附有第二偏振片;四分之一波片的输出光路上设置有第二反射镜、第一反射镜。

主权项:1.一种完全等光程外差激光干涉仪,其特征在于,包括偏振分光棱镜1、角锥棱镜2、四分之一波片3、第一补偿玻璃4、第一二分之一波片5、第一koester棱镜6、第一偏振片7、第一光电探测器8、第二二分之一波片9、第二补偿玻璃10、第二koester棱镜11、第二偏振片12、第二光电探测器13、第二反射镜14、第一反射镜15;所述偏振分光棱镜1的上侧端面贴附有角锥棱镜2,所述偏振分光棱镜1的下侧端面贴附有四分之一波片3,所述偏振分光棱镜1的左侧端面贴附有第一补偿玻璃4、第一二分之一波片5,所述第一补偿玻璃4位于第一二分之一波片5上方,所述偏振分光棱镜1的右侧端面并列贴附有第二补偿玻璃10、第二二分之一波片9,所述第二二分之一波片9位于第二补偿玻璃10的上方;所述第一补偿玻璃4、第一二分之一波片5的左侧贴附有第一koester棱镜6,所述第一koester棱镜6的出光面贴附有第一偏振片7;所述第二补偿玻璃10、第二二分之一波片9的右侧贴附有第二koester棱镜11,所述第二koester棱镜11的出光面贴附有第二偏振片12;所述四分之一波片3的输出光路上设置有第二反射镜14、第一反射镜15;所述第一偏振片7的输出光路上设置有第一光电探测器8,所述第二偏振片12的输出光路上设置有第二光电探测器13。

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