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减少干涉测量感测系统中的光学干涉 

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摘要:本文介绍了一种减轻例如,减少或消除高频干涉图案的方法,该高频干涉图案是由沿着在干涉测量感测系统的波导与探针之间形成的耦合界面的不平表面引起的。该方法用于减少由当波导例如,呈光纤的形式和探针彼此直接耦合时的干涉引起的该高频干涉图案。具体地,该波导的该耦合表面可例如用砂纸、喷砂或酸蚀刻来处理,以产生磨砂表面纹理。在操作中,该磨砂表面散射被透射穿过该波导的光,从而防止出现该高频干涉图案。

主权项:1.一种用于制造干涉测量感测系统的方法,所述方法包括:获得要在光源、检测器和单片基板之间互连的波导;处理所述波导的第一端部,使得沿着所述波导的所述第一端部的表面的粗糙度落入预先确定值范围内;将所述波导的所述第一端部光学耦合到所述单片基板的第一端部,使得所述波导和所述单片基板彼此物理接触;以及将所述波导的第二端部光学耦合到所述光源和所述检测器。

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