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摘要：提供能够精度良好地进行分离激光和线激光的位置的修正的激光修正方法。激光修正方法包括如下步骤：一边使激光光学系统14相对于对位用工件W2沿着加工进给方向进行相对移动，一边进行缘部切割加工并进行中空加工，在对位用工件中，至少激光照射面包含容易进行激光照射痕的检测的材料，在缘部切割加工中，经由激光光学系统使分离激光聚光到激光照射面而形成沿着加工进给方向彼此平行的两条第一槽，在中空加工中，经由激光光学系统使线激光聚光到激光照射面而形成第二槽；利用显微镜20来检测第一槽和第二槽；以及基于第一槽和第二槽的检测结果，来修正分离激光和线激光的聚光位置。
主权项：1.一种激光修正方法，其中，所述激光修正方法包括如下步骤：一边使激光光学系统相对于对位用工件沿着加工进给方向进行相对移动，一边进行缘部切割加工并进行中空加工，在所述对位用工件中，至少激光照射面包含容易进行激光照射痕的检测的材料，在所述缘部切割加工中，经由所述激光光学系统使分离激光聚光到所述激光照射面而形成沿着所述加工进给方向彼此平行的两条第一槽，在所述中空加工中，经由所述激光光学系统使线激光聚光到所述激光照射面而形成第二槽；利用显微镜来检测所述第一槽和所述第二槽；以及基于所述第一槽和所述第二槽的检测结果来修正所述分离激光和所述线激光的聚光位置。
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