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摘要：本发明公开了一种自校准功能的MFC质量流量控制器及校准方法，包括控制本体，控制本体设有测量通道和校准通道，控制本体两端转动设有结构相同的第一校准盘和第二校准盘，第一校准盘和第二校准盘均对应测量通道和校准通道设有通孔，第一校准盘和第二校准盘均在其中一个通孔内转动设有第一电极组件和第二电极组件；第一电极组件和第二电极组件均呈椭圆状；控制本体还设有用于同步驱动第一校准盘和第二校准盘转动的切换组件以及用于驱动第一电极组件和第二电极组件转动的动力机构；避免了单一电极组件的校准需要拆卸而导致长时间停产的问题，利于提高生产效率。
主权项：1.一种自校准功能的MFC质量流量控制器，其特征在于，包括控制本体，控制本体设有测量通道和校准通道，控制本体两端转动设有结构相同的第一校准盘和第二校准盘，第一校准盘和第二校准盘均对应测量通道和校准通道设有通孔，第一校准盘和第二校准盘均在其中一个通孔内转动设有第一电极组件和第二电极组件；第一电极组件和第二电极组件均呈椭圆状；控制本体还设有用于同步驱动第一校准盘和第二校准盘转动的切换组件以及用于驱动第一电极组件和第二电极组件转动的动力机构。
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百度查询： 九未实业(上海)有限公司 一种自校准功能的MFC质量流量控制器及校准方法
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