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摘要:本发明公开了一种应用于碳纤维的PVD导电膜层的制备方法,属于PVD镀膜领域。包括步骤:S1:将碳纤维基底材料进行超声清洗;S2:将清洗后的碳纤维基底材料放入镀膜室中,对镀膜室进行加热及抽真空;S3:当镀膜室的本地真空度达到0.001Pa以下时,通入氩气,开启弧光放电并沉积Cr层;S4:关闭弧光放电,调整氩气进气量,开启中频镀膜电源,沉积纯Cr层;S5:开启Cr靶,同时开启铜靶或银靶,沉积CrCu或CrAg膜层;S6:关闭Cr靶,继续开启铜靶或银靶,沉积Cu层或Ag层;S7:关闭铜靶或银靶,关闭氩气,结束镀膜。与现有技术相比,本申请通过弧光放电与磁控溅射相结合,能够使整个PVD膜层一体化,不会出现明显的膜层界线,结合更加紧密;且膜层的沉积速度更快。
主权项:1.一种应用于碳纤维的PVD导电膜层的制备方法,其特征在于,包括步骤:S1:将碳纤维基底材料进行超声清洗;S2:将清洗后的碳纤维基底材料放入镀膜室中,对镀膜室进行加热及抽真空;S3:当镀膜室的本地真空度达到0.001Pa以下时,通入氩气,开启弧光放电并沉积Cr层;S4:关闭弧光放电,调整氩气进气量,开启中频镀膜电源,沉积纯Cr层;S5:开启Cr靶,同时开启铜靶或银靶,沉积CrCu或CrAg膜层;S6:关闭Cr靶,继续开启铜靶或银靶,沉积Cu层或Ag层;S7:关闭铜靶或银靶,关闭氩气,结束镀膜。
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权利要求:
百度查询: 森科五金(深圳)有限公司 一种应用于碳纤维的PVD导电膜层的制备方法
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