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申请/专利权人：东方日升新能源股份有限公司
摘要：本发明的实施例提供了一种提升PVD靶材利用率的方法及PVD设备，涉及太阳能电池制造技术领域。该提升PVD靶材利用率的方法用于对电池基片的表面进行上镀膜和下镀膜，提升PVD靶材利用率的方法包括在每根靶材上的若干第一区域均安装有厚度检测仪，厚度检测仪用于实时监测靶材的厚度，获取每根靶材上若干厚度检测仪输出的厚度信息，依据每根靶材的厚度信息得到每根靶材的最小厚度值；依据每根靶材的最小厚度值分别设定每根靶材对应的溅射功率；依据所有靶材的溅射功率对应进行磁控溅射。得到靶材的最小厚度值可以明确靶材是否可以打穿，最大程度的提升靶材的利用率。
主权项：1.一种提升PVD靶材利用率的方法，用于对电池基片的表面进行上镀膜和下镀膜，其特征在于，所述提升PVD靶材利用率的方法包括：在每根靶材10上的若干第一区域均安装厚度检测仪20，其中，所述厚度检测仪20用于实时监测靶材10的厚度，并输出表征靶材10的厚度信息；获取每根靶材10上若干所述厚度检测仪20输出的厚度信息，依据每根所述靶材10的厚度信息得到每根靶材10的最小厚度值；依据每根靶材10的最小厚度值分别设定每根靶材10对应的溅射功率。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东方日升新能源股份有限公司 一种提升PVD靶材利用率的方法及PVD设备
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