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摘要：本发明涉及微电子技术领域，特别涉及一种多层导电结构的制备方法、导电结构及电子器件。该多层导电结构的制备方法，通过提供至少两个丝素蛋白膜；在所述至少两个丝素蛋白膜中的每个丝素蛋白膜上制备导电孔和金属图形层，得到至少两个目标丝素蛋白膜；将所述至少两个目标丝素蛋白膜按照预设结构层次粘合，形成多层导电结构；其中，在每个所述丝素蛋白膜上制备导电孔具体通过在所述丝素蛋白膜上形成预设通孔；向所述预设通孔内填充导电墨水；所述导电墨水为丝素蛋白和碳纳米管形成的聚合物的水溶液；再进行第一干燥处理，形成所述导电孔。如此，使得整个成型工艺不仅简单，而且所形成的导电结构具有更好的生物相容性、机械性能和可降解性能。
主权项：1.一种多层导电结构的制备方法，其特征在于，包括：提供至少两个丝素蛋白膜；在所述至少两个丝素蛋白膜中的每个丝素蛋白膜上制备导电孔和金属图形层，得到至少两个目标丝素蛋白膜；将所述至少两个目标丝素蛋白膜按照预设结构层次粘合，形成多层导电结构；其中，在每个所述丝素蛋白膜上制备导电孔，包括：在所述丝素蛋白膜上形成预设通孔；向所述预设通孔内填充导电墨水；所述导电墨水为丝素蛋白和碳纳米管形成的聚合物的水溶液；再进行第一干燥处理，形成所述导电孔。
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百度查询： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种多层导电结构的制备方法、导电结构及电子器件
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