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摘要：本实用新型公开了一种在线真空等离子清洗腔，包括上腔体和底板，底板上设置有多层料道治具，多层料道治具由多组相平行轨道构成，平行轨道包括相对设置的两个轨道条，轨道条上设置有至少两层轨道槽；各相对的轨道槽用以放置对应规格的产品；上腔体为一矩形盖体结构，其第一侧面设有进气接口，进气接口外侧连接外部等离子气体源，其内侧连通上腔体内部；上腔体上与第一侧面相对的另一侧面设有抽气口，抽气口连接至抽气装置；上腔体的上表面设有连接射频电源的能量馈入口，上腔体密封盖合在底板上方。本实用新型能够使单次等离子处理的数量增加，提升处理效率。
主权项：1.一种在线真空等离子清洗腔，其特征在于，包括上腔体和底板，所述底板上设置有多层料道治具，所述多层料道治具由多组相平行轨道构成，所述平行轨道包括相对设置的两个轨道条，所述轨道条上设置有至少两层轨道槽；各所述相对的轨道槽用以放置对应规格的产品；所述上腔体为一矩形盖体结构，其第一侧面设有进气接口，所述进气接口外侧连接外部等离子气体源，其内侧连通所述上腔体内部；所述上腔体上与所述第一侧面相对的另一侧面设有抽气口，所述抽气口连接至抽气装置；所述上腔体的上表面设有连接射频电源的能量馈入口，所述上腔体密封盖合在所述底板上方。
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