龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明提供能够调节机差的等离子体处理装置。等离子体处理装置包括：高频电源；一对等离子体电极；和配置在一对等离子体电极与高频电源之间的匹配器，匹配器具有：高频供电线，能够从高频电源对其供给高频电功率；接地的接地线；与一个等离子体电极连接的第1负载线；与另一个等离子体电极连接的第2负载线；阻抗匹配电路，其与高频供电线、第1负载线、第2负载线及接地线连接，具有多个可变电抗元件；高频传感器，其设置在高频供电线，检测高频电功率；至少检测第1峰值的电压传感器，其中，第1峰值是第1负载线与接地线的电位差的峰值；和匹配器控制部，其被输入高频传感器、电压传感器的检测值而控制多个可变电抗元件。
主权项：1.一种等离子体处理装置，其特征在于，包括：高频电源；一对等离子体电极；和配置在一对所述等离子体电极与所述高频电源之间的匹配器，所述匹配器具有：高频供电线，能够从所述高频电源对其供给高频电功率；接地的接地线；与一个所述等离子体电极连接的第1负载线；与另一个所述等离子体电极连接的第2负载线；阻抗匹配电路，其与所述高频供电线、所述第1负载线、所述第2负载线及所述接地线连接，具有多个可变电抗元件；高频传感器，其设置在所述高频供电线，检测所述高频电功率；至少检测第1峰值的电压传感器，其中，所述第1峰值是所述第1负载线与所述接地线的电位差的峰值；和匹配器控制部，其能够被输入所述高频传感器、所述电压传感器的检测值而控制多个所述可变电抗元件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 等离子体处理装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号