龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：上海共进微电子技术有限公司
摘要：本申请提供一种晶圆加工系统，涉及半导体领域。其中，晶圆加工系统包括晶圆加工设备、加工辅助设备、第一联动装置、第二联动装置以及用于检测加工辅助设备是否发故障的故障探测设备；第一联动装置的第一检测端与加工辅助设备的电源端口电性连接；第二联动装置的第二检测端与故障探测设备的报警信号端电性连接；第一联动装置的第一控制端与第二联动装置的第二控制端串联到晶圆加工设备的感知回路；加工辅助设备处于通电状态且故障探测设备未检测到加工辅助设备发生故障时，第一检测端控制第一控制端导通感知回路；第二检测端控制第二控制端导通感知回路。如此，加工辅助设备或者加工辅助设备发生异常，晶圆加工设备均能及时感知到。
主权项：1.一种晶圆加工系统，其特征在于，所述晶圆加工系统包括晶圆加工设备、加工辅助设备、第一联动装置、第二联动装置以及用于检测所述加工辅助设备是否发故障的故障探测设备；所述第一联动装置的第一检测端与所述加工辅助设备的电源端口电性连接；所述第二联动装置的第二检测端与所述故障探测设备的报警信号端电性连接；所述第一联动装置的第一控制端与所述第二联动装置的第二控制端串联到所述晶圆加工设备的感知回路；所述加工辅助设备处于通电状态且所述故障探测设备未检测到所述加工辅助设备发生故障时，所述第一检测端控制所述第一控制端导通所述感知回路；所述第二检测端控制所述第二控制端导通所述感知回路；在所述加工辅助设备断电时，所述第一检测端控制所述第一控制端断开所述感知回路，或者在所述故障探测设检测到所述加工辅助设备发生故障时，所述第二检测端控制所述第二控制端断开所述感知回路。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海共进微电子技术有限公司 晶圆加工系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号