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申请/专利权人：上海芯龙半导体技术股份有限公司
摘要：本发明提供了一种进风量监测传感器，包括：基板、温度传感器和微压力传感器，温度传感器和微压力传感器均位于基板上，温度传感器包括一个采用碳纳米管制备成的热敏电阻和两个分压电阻，两个分压电阻连接且包围热敏电阻；微压力传感器包括四个采用碳纳米管制备成的力敏电阻，每个力敏电阻均包括条状延伸部和突出部，突出部位于条状延伸部的延伸方向的侧面，四个力敏电阻依次连接构成矩形以包围温度传感器；力敏电阻的线宽大于热敏电阻的线宽，并且采用3D打印技术或纳米压印技术将温度传感器和微压力传感器集成于基板上。本发明能够提高进风量监测传感器的监测灵敏度和精度，并且能够降低生产成本。
主权项：1.一种进风量监测传感器，其特征在于，包括：基板；温度传感器，位于所述基板上，所述温度传感器包括一个采用碳纳米管制备成的热敏电阻和两个分压电阻，两个所述分压电阻连接且包围所述热敏电阻；微压力传感器，位于所述基板上，所述微压力传感器包括四个采用碳纳米管制备成的力敏电阻，每个所述力敏电阻均包括条状延伸部和突出部，所述突出部位于所述条状延伸部的延伸方向的侧面，四个所述力敏电阻依次连接构成矩形以包围所述温度传感器；其中，所述力敏电阻的线宽大于所述热敏电阻的线宽，并且采用3D打印技术或纳米压印技术将所述温度传感器和所述微压力传感器集成于所述基板上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海芯龙半导体技术股份有限公司 进风量监测传感器
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