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申请/专利权人：深圳市舟鸿半导体科技有限公司
摘要：本实用新型提出了一种内存芯片晶圆划片机，包括伺服电机、丝杆和轨道，所述伺服电机的输出端固定连接有丝杆，所述丝杆的两侧设置有轨道，所述轨道的外表面活动连接有滑座，所述滑座的顶部固定连接有载台，所述载台的输出端固定连接有转台，所述载台的底部固定连接有导块，所述导块与丝杆螺纹连接。本实用新型的优点在于：通过第二无杆气缸、固定盘和吸盘、伺服电机、丝杆、轨道、滑座、载台、滑块的配合设置，当载台移动到第二无杆气缸下方时，第二无杆气缸动作，抓取气缸的输出端输出，利用吸盘产生负压吸取单片蓝膜到载台上方，抓取气缸的输出端顶出，吸盘取消负压，从而将蓝膜自动铺设在载台上，无需手动铺膜，提高了划片效率，减少工作量。
主权项：1.一种内存芯片晶圆划片机，其特征在于，包括伺服电机1、丝杆2和轨道3，所述伺服电机1的输出端固定连接有丝杆2，所述丝杆2的两侧设置有轨道3；所述轨道3的外表面活动连接有滑座4，所述滑座4的顶部固定连接有载台5，所述载台5的输出端固定连接有转台6；所述载台5的底部固定连接有导块7，所述导块7与丝杆2螺纹连接；所述轨道3的上方设置有第一无杆气缸8，所述第一无杆气缸8的输出端上活动连接有滑块9，所述滑块9的正面固定连接有激光切割头10；所述轨道3的上方设置有第二无杆气缸11，所述第二无杆气缸11输出端的滑块9正面固定连接有抓取气缸12，所述抓取气缸12竖向设置，所述抓取气缸12的输出端固定连接有固定盘13，所述固定盘13底面的边缘处固定连接有吸盘14。
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百度查询： 深圳市舟鸿半导体科技有限公司 一种内存芯片晶圆划片机
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