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申请/专利权人：无锡釜川科技股份有限公司
摘要：本申请涉及急停装置技术领域，公开了一种硅片上下料设备的急停装置，急停装置用于控制料台急停，包括；急停装置本体，急停装置本体装设于料台上；控制组件，控制组件包括装设于靠近急停装置本体位置的导向部、滑设于导向部上的按压部和装设于靠近按压部位置的驱动部；在需要使料台急停时，通过驱动部使按压部在导向部上移动，通过导向部对按压部进行导向，并通过按压部按压料台上的急停装置本体。本申请具有便于对料台进行急停的效果。
主权项：1.一种硅片上下料设备的急停装置，所述急停装置用于控制料台1急停，其特征在于：包括；急停装置本体3，所述急停装置本体3装设于所述料台1上；控制组件4，所述控制组件4包括装设于靠近所述急停装置本体3位置的导向部41、滑设于导向部41上的按压部42和装设于靠近按压部42位置的驱动部43；在需要使所述料台1急停时，通过所述驱动部43使所述按压部42在所述导向部41上移动，通过所述导向部41对所述按压部42进行导向，并通过按压部42按压所述料台1上的急停装置本体3。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡釜川科技股份有限公司 一种硅片上下料设备的急停装置
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