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申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要：本发明涉及半导体激光器领域，尤其涉及一种具有双腔模式调控功能的VCSEL，包括衬底，在衬底的底面制备有N型电极，在衬底的顶面制备有外延结构，在外延结构的表面制备有功能结构层，在功能结构层的内部制备对高阶模式进行滤除的高阶模式过滤结构，在功能结构层的表面制备有对基模进行汇聚的模式汇聚结构，在功能结构层的表面还制备有P型电极。本发明只在出光孔的边缘区域设计高阶模式过滤结构，改变传统滤波结构将光栅集成在整个激光器表面的方式，保证高阶模式过滤结构只对出光孔边缘的高阶模式进行滤除，而不影响中心区域的基膜的稳定输出；以及，通过高阶模式过滤结构与模式汇聚结构的设计，能够在滤除高阶模式的同时实现对基模的汇聚。
主权项：1.一种具有双腔模式调控功能的VCSEL，包括衬底，在衬底的底面制备有N型电极，在衬底的顶面制备有外延结构，其特征在于，在外延结构的表面制备有功能结构层，在功能结构层的内部制备对高阶模式进行滤除的高阶模式过滤结构，在功能结构层的表面制备有对基模进行汇聚的模式汇聚结构，在功能结构层的表面还制备有P型电极；高阶模式过滤结构与模式汇聚结构均为曲面微透镜，构成双曲面微透镜；或者高阶模式过滤结构为楔形光栅，模式汇聚结构为曲面微透镜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 具有双腔模式调控功能的VCSEL及其制备方法
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