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申请/专利权人：清源创新实验室
摘要：本发明涉及材料镀覆领域，尤其涉及一种原子层沉积技术，更具体地，涉及一种实现粉末表面原子级薄膜生长的装置，包括反应腔体、排气机构及粉末供给装置；所述反应腔体的侧壁上设置有多个加热组件与多个拉瓦尔喷嘴，所述反应腔体的中部处设置有搅拌机构；通过多个拉瓦尔喷嘴形成的高速射流与搅拌的双重强化作用下，反应腔体中团聚的微纳米颗粒得到解聚，同时颗粒能够与反应气体充分接触并快速发生沉积反应，进而在颗粒表面精准形成高保型性的原子级薄膜。此方案结构紧凑，操作容易，其解决了高黏性微纳米粉末原子级包覆均匀性差的技术问题。基于此，还提出一种实现粉末表面原子级薄膜生长的方法。
主权项：1.一种实现粉末表面原子级薄膜生长的装置，其特征在于：包括可加热的基于气流磨的反应腔体、设于反应腔体上的排气机构及设于反应腔体上的粉末供给装置；所述反应腔体的侧壁上设置有多个加热组件与多个拉瓦尔喷嘴，所述反应腔体的中部处设置有搅拌机构，所述拉瓦尔喷嘴用于实现反应腔体内部形成高速螺旋气流；所述排气机构包括排气管、设于排气管中部的用于透气与过滤的微孔烧结板、设于排气管端部的过滤组件及设于排气管端部的反吹喷嘴，所述排气管与外部的负压设备连通以实现排气管及反应腔体内的气压调节，所述反吹喷嘴用于将微孔烧结板阻挡的物料吹落；所述粉末供给装置用于向反应腔体内投入粉末原料；所述搅拌机构包括第一搅拌轴、第二搅拌轴及驱动第一搅拌轴与第二搅拌轴的驱动装置，所述第一搅拌轴可转动地设于第二搅拌轴内，所述第一搅拌轴上设置有多个第一搅拌叶片，所述第二搅拌轴上可转动地设置有多个第二搅拌叶片，所述第一搅拌叶片位于第二搅拌叶片上方，所述驱动装置用于驱动第一搅拌轴沿轴向转动，且驱动装置驱动第二搅拌叶片转动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 清源创新实验室 一种实现粉末表面原子级薄膜生长的装置及方法
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