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申请/专利权人：诺威有限公司
摘要：本公开涉及图案化结构中的基于拉曼光谱法的测量。呈现一种用于测量图案化结构的一个或多个特征时使用的方法与系统。该方法包括：提供包括指示在使用至少一个所选择的光学测量方案的测量下从图案化结构获得的至少一个拉曼光谱的数据的测量数据，至少一个所选择的光学测量方案各自具有与待测量的特征对应的照明和采集光条件中的至少一个条件的预定配置；处理测量数据，并且针对至少一个拉曼光谱中的每个光谱，确定在测量下的结构的至少一部分内的拉曼贡献效率RCE的分布，该分布取决于结构的特征与相应的光学测量方案中的照明和采集光条件中的至少一个条件的预定配置；分析拉曼贡献效率的分布并且确定该结构的特征。
主权项：1.一种用于测量图案化结构的一个或多个特征时使用的方法，所述方法包括：对所述图案化结构应用两个或更多个不同的光学测量方案中数量为n的光学测量方案并且确定包括来自所述图案化结构的对应的n个拉曼光谱的测量数据，n个所述光学测量方案在照明和采集中的一者或两者中的至少一个条件上彼此不同；并且处理所述测量数据并且确定所述图案化结构的所述一个或多个特征，对于n为大于一的整数，所述处理包括针对n个所述拉曼光谱分别确定所述图案化结构的至少一部分上的n个拉曼贡献效率分布RCE1x,y,z、RCE2x,y,z、...RCEnx,y,z，所述拉曼贡献效率分布中的每个不同于所述图案化结构的特征并且取决于所述图案化结构的特征与相应的光学测量方案，由此能够确定所述图案化结构的所述一个或多个特征，其中，一组测量的拉曼强度是所述图案化结构内的参数分布乘以拉曼贡献效率分布的乘积的积分，其中，针对n个所述拉曼光谱中的每个拉曼光谱的所述拉曼贡献效率的分布的计算包括：处理通过对所述图案化结构或对应的测试结构应用的、与拉曼光谱法类型不同的一个或多个测量而获得的额外的测量数据。
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百度查询： 诺威有限公司 图案化结构中的基于拉曼光谱法的测量
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