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申请/专利权人：四川大学

摘要：本发明涉及一种监测材料制备的高温原位拉曼光谱系统及方法，属于拉曼光谱原位监测技术领域。本系统包括由激光器、光束整形器、偏振片、可变衰减器、反射镜、滤光片、二向色镜、远距离光纤、光线准直器、消色差物镜组成的远程拉曼测试系统，以及由包括相机和摄影系统、二向色镜、分束器、空间滤波器、光阑、高分辨单色仪、CCD探测器组成的原位拉曼模块。通过激光器激发拉曼激光，经滤光片、可变衰减器、二向色镜、空间滤波器、高分辨单色仪采集样品在高温合成过程中的视频和拉曼信号，结合时间门控拉曼技术，经CCD探测器分析获得的拉曼背散射光信号。本发明可以耦合所有管式高温炉，在无明显热辐射背景下对材料生长过程中的样品进行组分与物相表征。

主权项：1.一种监测材料制备的高温原位拉曼光谱系统，其特征在于，包括远程拉曼模块和原位拉曼模块；所述远程拉曼模块包括激光器1、光束整形器2、偏振片3、可变衰减器4、反射镜5、滤光片6、二向色镜7、分束器8、远距离光纤9、光线准直器10、消色差物镜11；所述原位拉曼模块包括可见光源13、第一反射镜14、相机和摄影系统15、二向色镜7、分束器8、第二反射镜16、空间滤波器17、光阑18、高分辨单色仪19、CCD探测器20；远程拉曼模块和原位拉曼模块共用二向色镜7和分束器8；远程拉曼模块中，激光器1发射拉曼激光，经过光束整形器2、偏振片3得到平面波激光，再经可变衰减器4进行光强调制，再经反射镜5、滤光片6、二向色镜7、分束器8得到特定波长的拉曼入射激光，再经远距离光纤9、光线准直器10、消色差物镜11和管式高温炉12的石英玻璃窗口聚焦到样品合成衬底表面；原位拉曼模块中，可见光源13激发可见光，被第一反射镜14反射，然后经分束镜8、远距离光纤9、光纤准直器10、消色差物镜11射入管式高温炉12的石英玻璃窗口；管式高温炉12内的可见光经过管式高温炉12的石英玻璃窗口、消色差物镜11、光纤准直器10、远距离光纤9、分束镜8，并穿过第一反射镜14后，进入相机和摄影系统15，从而实时观测样品合成过程；样品拉曼背散射光经过管式高温炉12的石英玻璃窗口、消色差物镜11、光纤准直器10、远距离光纤9、分束镜8、二向色镜7、第二反射镜16、空间滤波器17、光阑18、高分辨单色仪19后，进入CCD探测器20，得到样品高温生长过程中的原位拉曼表征。

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