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一种微波功放载板的全自动球形键合装置及其工作方法 

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申请/专利权人:中国电子科技集团公司第五十五研究所;合肥美真电子科技有限公司

摘要:本发明涉及一种微波功放载板的全自动球形键合装置及其方法,包括加热块、用于轨道传输的载盘,以及对设备的气动系统中真空气路进行的改造。将设备中的真空气路部分做切断处理,并进行密封保护,外接真空管至workholder电磁阀,可以提高加热块对功放载板的吸附力。加热块为根据功放载板面积所设计的并开有真空孔,轨道传输的载盘上加工了与微波功放载板尺寸匹配的键合槽及与加热块尺寸匹配的加热支撑窗口。本发明以简洁的方法,实现了微波功放载板类产品的全自动球型键合工艺。

主权项:1.一种微波功放载板的全自动球形键合装置,其特征是其结构包括真空装置、凸台4、加热块5、载盘6、传输轨道,其中,加热块5设于传输轨道下方,所述加热块5上设有凸台4,用以承托功放载板9,凸台4正中间开有真空孔3,通过真空装置真空吸附功放载板,所述载盘6设于传输轨道上,载盘6上加工有键合槽7,键合槽的中间区域为加热支撑窗口8,凸台4穿过加热支撑窗口8将功放载板顶起,通过真空吸附固定,进行球形键合;所述真空装置包括workholder电磁阀、真空阀、管道真空管,将设备中的真空气路切断并作密封处理,外接管道真空管至原workholder电磁阀控制气路,并在设备操作面加装手动控制的真空阀;所述凸台4上开有一个或多个开槽,所述开槽为“×”形或“米”形。

全文数据:

权利要求:

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