龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：苏州科技大学;苏州窄带半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了一种碲化铋基薄膜热电模块制造方法、热电模块及热电发电机，制造方法包括以下步骤：在热沉基板上沉积二氧化硅膜层；在二氧化硅膜层上制备多条间隔排列的金属带；在不同的金属带之间的所述二氧化硅膜层的上表面交替沉积P型和N型碲化铋基薄膜，得到第一半成品；在第一半成品上表面涂覆光刻胶，并移除部分的金属带上的光刻胶，使移除光刻胶的金属带与未移除光刻胶的金属带交替设置；在移除光刻胶的金属带上沉积一层金属层，得到第二半成品；在第二半成品上表面涂覆光刻胶，并移除金属层上的光刻胶；在移除光刻胶的金属层上沉积导热绝缘层。本发明利用MEMS微加工技术和薄膜沉积技术实现了平面碲化铋基薄膜热电发电机的可扩展性。
主权项：1.一种平面碲化铋基薄膜热电模块的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、在热沉基板上沉积二氧化硅膜层；S2、在所述二氧化硅膜层上制备多条间隔排列的金属带；S3、在不同的金属带之间的所述二氧化硅膜层的上表面交替沉积P型碲化铋基薄膜和N型碲化铋基薄膜，使得每个金属带一侧沉积有P型碲化铋基薄膜，另一侧沉积有N型碲化铋基薄膜，得到第一半成品；S4、在所述第一半成品上表面涂覆光刻胶，并移除部分的金属带上的光刻胶，使移除光刻胶的金属带与未移除光刻胶的金属带交替设置；S5、在移除光刻胶的金属带上沉积一层金属层，得到第二半成品；S6、在所述第二半成品上表面涂覆光刻胶，并移除S5步骤中沉积的金属层上的光刻胶；S7、在移除光刻胶的金属层上沉积一层导热绝缘层；在执行S7步骤后，还包括对沉积在所述金属层以外的导热绝缘层进行移除操作。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州科技大学 苏州窄带半导体科技有限公司 碲化铋基薄膜热电模块制造方法、热电模块及热电发电机
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号