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申请/专利权人：仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司
摘要：本发明公开了一种太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构，适于并且匹配各种型号的原子力显微镜以检测一待测样品，所述太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构包括一90°平面镜、一AFM探针、一第一平面镜，所述AFM探针用于检测置于一AFM样品台的所述待测样品，所述第一平面镜置于所述90°平面镜的靠近AFM样品台的一侧。本发明专利申请公开的太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构，适用并且匹配多种成熟的商业化AFM，抛物面镜需针对AFM进行定制，在保证将入射太赫兹脉冲束聚焦到AFM探针之上及收集经探针和样品散射的太赫兹脉冲束的前提下不与AFM结构产生冲突。
主权项：1.一种太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构，适于并且匹配各种型号的原子力显微镜以检测一待测样品，所述太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构包括一直角棱镜反射镜、位于一太赫兹脉冲束的输入侧的一第一指示激光器、一第一ITO反射薄膜、一第一垂直平面镜、位于所述太赫兹脉冲束的输出侧的一第二指示激光器、一第二ITO反射薄膜、一第二垂直平面镜，其特征在于，所述太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构还包括：一AFM探针，所述AFM探针用于检测置于一AFM样品台的所述待测样品；一第一平面镜，所述第一平面镜置于所述直角棱镜反射镜的靠近AFM样品台的一侧；一抛物面镜，所述抛物面镜被固定设置于行程可调的一三维调节架，所述抛物面镜置于所述AFM样品台的斜上方，以使得通过微调所述三维调节架将经所述抛物面镜的所述太赫兹脉冲束聚焦于所述AFM探针；太赫兹光束依次经过第一ITO反射薄膜、第一垂直平面镜、直角棱镜反射镜、第一平面镜反射后由抛物面镜会聚于针尖处，针尖散射的太赫兹光经抛物面镜收集后依次经过第一平面镜、直角棱镜反射镜、第二垂直平面镜、第二ITO反射薄膜反射后输出；第一指示激光器和第二指示激光器发出激光与太赫兹光束经过的光路路径重合；所述第一平面镜采用与水平面成30°角的平面镜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司 太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构
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