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申请/专利权人：国立大学法人东京大学
摘要：本发明提供可进行非破坏性观察的电子显微镜以及测定试样的观察方法。电子显微镜1包括：激光光源2，生成CW激光7；辐照透镜系统聚光镜4和物镜6，向测定试样30照射CW激光7；能量分析器22，按能量对利用CW激光7从测定试样30释放的光电子进行分离；能量狭缝23，使具有预定能量的光电子通过；电子束检测器25，对通过能量狭缝23的光电子进行检测；第一电子透镜系统21，使从测定试样30释放的光电子会聚至能量分析器22；以及第二电子透镜系统24，使通过能量狭缝23的光电子投射至电子束检测器25。
主权项：1.电子显微镜，包括：激光光源，生成CW激光；辐照透镜系统，向测定试样照射所述CW激光；能量分析器，按能量对利用所述CW激光从所述测定试样释放的光电子进行分离；能量狭缝，使具有预定的所述能量的所述光电子通过；电子束检测器，对通过所述能量狭缝的所述光电子进行检测，并根据所检测出的所述光电子的强度生成所述测定试样的图像；第一电子透镜系统，使从所述测定试样释放的所述光电子会聚至所述能量分析器；第二电子透镜系统，使通过所述能量狭缝的所述光电子投射至所述电子束检测器；电源，对所述测定试样或所述第一电子透镜系统施加电压，使从所述测定试样释放的所述光电子加速；以及能量调整机构，根据构成所述测定试样的特定物质的状态密度确定施加于所述测定试样的电压，并将所确定的所述电压施加于所述测定试样，以使通过所述能量狭缝的光电子的能量的频带成为从所述特定物质释放的光电子的能量的频带，其中，在所述能量狭缝上设置有狭缝移动机构，使所述能量狭缝的位置移动，以改变通过所述能量狭缝的所述光电子的所述能量的频带。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 国立大学法人东京大学 电子显微镜以及测定试样的观察方法
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