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申请/专利权人：艾克塞利斯科技公司
摘要：离子注入系统具有质量分析磁体，该质量分析磁体具有内部和外部区域，并限定第一入口、第二入口和出口。第一离子源限定沿第一射束路径导向第一入口的第一离子束。第二离子源限定沿第二射束路径导向第二入口的第二离子束。磁体电流源向质量分析磁体供应磁体电流。磁体控制电路基于第一或第二离子束的形成控制磁体电流的极性。质量分析磁体分别对第一或第二离子束进行质量分析，以沿经质量分析的射束路径限定经质量分析的离子束。内部或外部区域中的至少一个屏蔽件防止第一和第二离子源之间的视线。束线部件修改经质量分析的离子束。
主权项：1.一种离子注入系统，包括：质量分析磁体，其包括轭和线圈，所述轭和线圈限定所述质量分析磁体的第一入口、第二入口和出口，并且其中所述轭和线圈中的一个或多个限定所述质量分析磁体的内部区域和外部区域；第一离子源，其被配置为限定第一离子束，所述第一离子束沿第一射束路径导向所述质量分析磁体的第一入口；第二离子源，其被配置为限定第二离子束，所述第二离子束沿第二射束路径导向所述质量分析磁体的第二入口；以及磁体电流源，其被配置为向所述质量分析磁体供应磁体电流；磁体控制电路，其耦合至所述质量分析磁体和所述磁体电流源，其中所述磁体控制电路被配置为基于所述第一离子束和所述第二离子束中的每一个的选择性形成来选择性地控制供应至所述质量分析磁体的磁体电流的极性，其中所述质量分析磁体被配置为分别对所述第一离子束和所述第二离子束进行质量分析，从而沿经质量分析的射束路径在所述质量分析磁体的出口处限定经质量分析的离子束；一个或多个屏蔽件，其定位于所述质量分析磁体的内部区域和外部区域中的一个或多个中，并且被配置为防止所述第一离子源和所述第二离子源之间的视线；以及多个束线部件，其布置在所述质量分析磁体的下游并且被配置为将所述经质量分析的离子束导向工件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 艾克塞利斯科技公司 具有可切换分析磁体的双源注入器
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