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申请/专利权人：华天科技(南京)有限公司
摘要：本发明提供一种半导体封装的plasma设备，包括上下料模组、存储机构、输送机构、清洗机，所述上下料模组包括相对设于存储机构两侧的外接驳机构、内接驳机构，且外接驳机构与存储机构之间设有外定位台，内接驳机构与存储机构之间设有内定位台；所述存储机构包括智能储料仓，智能储料仓通过外定位台、内定位台实现物料的密封传递，且上下料模组与存储机构之间通过机械手一、机械手二、机械手三实现物料的传递；所述输送机构用于内接驳机构与清洗机之间的物料运输，所述清洗机用于清洗物料。本发明集自动上料、工单存储、系统分拣、自动运输、清洗、下料于一体，结构紧凑，实现了自动化无人操作，提升了清洗效率和清洗质量。
主权项：1.一种半导体封装的plasma设备，其特征在于：包括上下料模组、存储机构、输送机构、清洗机，所述上下料模组用于上下料，包括相对设于存储机构两侧的外接驳机构、内接驳机构，且外接驳机构与存储机构之间设有与存储机构抵接的外定位台，内接驳机构与存储机构之间设有与存储机构抵接的内定位台，所述外接驳机构上设有用于外接驳机构与外定位台之间的物料运输的机械手一，所述内接驳机构上设有用于内接驳机构与内定位台之间的物料运输的机械手二；所述存储机构包括密封充氮的智能储料仓，智能储料仓内设有机械手三，所述机械手三用于智能储料仓与外定位台、内定位台之间的物料运输；机械手一、机械手二、机械手三的输出端均设有夹取物料的夹爪；所述外定位台、内定位台上均设有放置槽，且放置槽与智能储料仓连通时为封闭状态；所述输送机构设有多个，用于内接驳机构与清洗机之间的物料运输，所述清洗机用于清洗物料。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华天科技(南京)有限公司 一种半导体封装的plasma设备
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