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申请/专利权人：浙江圆通新材料有限公司
摘要：本发明涉及密封圈领域，具体关于一种耐plasma的半导体用石墨烯基氟橡胶密封圈的制备方法；本发明利用氟橡胶、氟弹性体、氧化石墨烯、受阻酚、氧化镁、硫化剂、增容剂，采用机械共混法制备耐plasma的半导体用石墨烯基氟橡胶密封圈；本发明制备的耐plasma的半导体用石墨烯基氟橡胶密封圈的耐苄基甲苯浸渍性能优异；氧化石墨烯能够有效增大复合材料的拉伸强度；阻尼填料受阻酚HP1098能够增大复合材料的损耗因子，扩宽阻尼温域；氟弹性体能够有效提高复合材料的加工性能，使氟橡胶在半导体设备用超纯耐plasma密封圈中的得到很好的应用。
主权项：1.一种耐plasma的半导体用石墨烯基氟橡胶密封圈的制备方法，其操作步骤为：S1：打开密炼机，设定温度为45-50℃，将85-100份氟橡胶加入到密炼机中，混炼1-2min，然后依次加入5-15份氟弹性体、45-60份受阻酚、0.5-1.5份硫化剂、0.5-1.5份增容剂，所有辅料预混合均匀，继续混炼至5-6min后取出胶料，在开炼机上多次薄通翻胶，打三角包，混炼均匀后，在室温下放置20-24h；所述增容剂的制备方法为：按照质量份数，通入氮气，将10-18份的烯丙基硫脲，2-4份全氟三乙胺，100-120份DMF，加入到反应釜中，搅拌混合均匀后将0.001-0.05份的1-烯丙基-3-乙烯基咪唑三氟甲烷磺酰亚胺盐，0.01-0.1份的甲基丙烯酸铈，缓慢的加入到反应釜中，温度为50-60℃搅拌反应20-40分钟，再加入15-25份的丙烯酸六氟丁酯，搅拌反应120-140分钟，0.4-2份过氧化苯甲酰，控制温度为50-60℃，保温50～80分钟，反应结束蒸馏除去DMF，得到增容剂；S2：采用平板硫化机进行一段硫化，压力100-150Mpa；S3：采用高温硫化后，得到耐plasma的半导体用石墨烯基氟橡胶密封圈。
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权利要求：
百度查询： 浙江圆通新材料有限公司 一种耐plasma的半导体用石墨烯基氟橡胶密封圈的制备方法
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