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申请/专利权人:南京华东电子真空材料有限公司
摘要:本实用新型涉及一种提高激活温度均匀性的薄膜吸气剂结构,其特征是吸气薄膜沉积在不锈钢、可伐等片装金属的两面,并且吸气剂的宽度在长度方向的两端有逐渐变窄的区域,宽带变窄至最大宽度的34到12,由于两端电流密度的提高,弥补了通过焊接位置的热传递,从而提高了薄膜吸气剂激活时的温度均匀性,进而提高薄膜吸气剂的室温吸气容量。
主权项:1.一种提高激活温度均匀性的薄膜吸气剂结构,其特征在于,吸气薄膜沉积在包括不锈钢和可伐片的装基底金属的两面,该不锈钢和可伐片的装基底的宽度在长度方向的两端有逐渐变窄的区域。
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权利要求:
百度查询: 南京华东电子真空材料有限公司 一种提高激活温度均匀性的薄膜吸气剂结构
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