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申请/专利权人：中微半导体设备(上海)股份有限公司
摘要：本实用新型公开一种成膜设备，包括：腔体；气体供给部用于向腔体的内部通入用于生长薄膜的反应气体；载置台，设置在腔体的底部用于承载衬底；侧加热器，其靠近腔体的内侧壁设置，且位于载置台的上方，用于加热腔体内的反应气体；侧部电极引出部，其与侧加热器连接，用于向侧加热器引入电能；侧部电极引出部包括：腔体法兰，其设置在腔体的侧壁上；侧加热器导电支架，设置在腔体内；侧水冷电极，设置在腔体法兰的法兰孔中；侧水冷电极的电极端通过侧加热器导电支架与侧加热器连接，侧水冷电极的电源端与外部加热电源连接；侧水冷部件，与侧水冷电极连接，用于向侧水冷电极内引入冷却水。本实用新型能够延长电极引出部的使用寿命和提高使用安全性。
主权项：1.一种成膜设备，其特征在于，包括：腔体100；气体供给部110，其设置在所述腔体100的顶部，用于向所述腔体100的内部通入用于生长薄膜的反应气体；载置台170，设置在所述腔体100的底部，与所述气体供给部110相对设置，用于承载衬底400；侧加热器200，其靠近所述腔体100的内侧壁设置，且位于所述载置台170的上方，用于加热所述腔体100内的反应气体；侧部电极引出部230，其与所述侧加热器200连接，用于向所述侧加热器200引入电能；所述侧部电极引出部230包括：腔体法兰202，其设置在所述腔体100的侧壁上；侧加热器导电支架201，其设置在所述腔体100内；侧水冷电极204，其设置在所述腔体法兰202的法兰孔中；所述侧水冷电极204的电极端通过所述侧加热器导电支架201与所述侧加热器200连接，所述侧水冷电极204的电源端与外部加热电源连接；侧水冷部件205，与所述侧水冷电极204连接，用于向所述侧水冷电极204内引入冷却水。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中微半导体设备(上海)股份有限公司 一种成膜设备
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