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申请/专利权人：上海镭能电子科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种转移硅片的工装设备，涉及硅片技术领域，该转移硅片的工装设备，包括底座，所述底座的上表面纵向中间位置上开设有T形滑槽，T形滑槽的内部滑动安装有T形滑块，T形滑块的顶端固定安装有转向电机，转向电机的输出轴上设置有转移装置，该装置用于对硅片进行批量转移，T形滑槽的内部设置有驱动装置，该装置用于驱动T形滑块在T形滑槽的内部移动，通过在支撑板的两侧设置扩展套，可根据硅片的实际大小，调节扩展套在支撑板上的位置，进而增加设备的多功能性，使其能够适应不同尺寸的硅片转移需求，且通过在扩展套的内部左右两端设置弧形限位板，进而防止扩展套脱离支撑板的前后两端，提高装置的稳定性。
主权项：1.一种转移硅片的工装设备，包括底座1，底座1的上表面纵向中间位置上开设有T形滑槽2，T形滑槽2的内部滑动安装有T形滑块3，其特征在于：所述T形滑块3的顶端固定安装有转向电机4，转向电机4的输出轴上设置有转移装置，该装置用于对硅片进行批量转移；其中，T形滑槽2的内部设置有驱动装置，该装置用于驱动T形滑块3在T形滑槽2的内部移动；所述转移装置包括移动板5，移动板5固定安装在转向电机4的输出轴上，移动板5的右表面纵向中间位置上开设有矩形滑槽6，矩形滑槽6的内部底端固定安装有第一电机7，第一电机7的输出轴上固定安装有第一螺纹杆8，第一螺纹杆8远离第一电机7的一端转动安装在矩形滑槽6的内部顶端；所述矩形滑槽6的内部对应第一螺纹杆8的外表面均匀滑动安装有若干个滑动板9，且若干个滑动板9均与第一螺纹杆8的外表面啮合连接，所述滑动板9的右端固定安装有支撑板10；所述支撑板10的前后两侧均套接滑动安装有扩展套11，所述扩展套11的内部左右两侧均固定安装有弧形限位板12。
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权利要求：
百度查询： 上海镭能电子科技有限公司 一种转移硅片的工装设备
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