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申请/专利权人：济南紫源电子有限公司
摘要：本实用新型公开了一种硅片拿取装置，包括清洗箱体，移动架的内侧通过转杆活动安装有夹取座，硅片夹取槽的内部活动设置有夹板，横向滑槽的内部固定设置有导向杆，导向杆的外部滑动套设有多个位移套座；本实用新型下料板上设置可移动的移动架结构，将夹取座活动设置在移动架的内部，下料夹取时，通过升降板带动硅片支板上固定的硅片上升，硅片支板上的硅片进入到硅片夹取槽内部，推动气缸可推动推动架进行移动，进而使得与推动架连接的位移套座在导向杆的导向下，带动位移套座一侧的夹板朝向硅片一侧运动，将硅片夹取槽内部的硅片通过夹板进行固定限位，这样可一次性夹取多组硅片，不需要反复进行夹取，硅片夹取更加高效。
主权项：1.一种硅片拿取装置，包括清洗箱体1、升降板2、硅片支板3、移动架5、夹取座7、夹板10和位移套座15，其特征在于，所述清洗箱体1的顶部边侧设置有下料板4，所述下料板4的顶部活动设置有移动架5，所述移动架5的内侧活动设置有转杆6，所述移动架5的内侧通过转杆6活动安装有夹取座7，所述夹取座7的内部开设有多个硅片夹取槽8，所述硅片夹取槽8的内部活动设置有夹板10，所述夹取座7的边侧开设有横向滑槽12，所述横向滑槽12的内部固定设置有导向杆17，所述导向杆17的外部滑动套设有多个位移套座15，所述位移套座15的一侧固定连接有安装座18，所述安装座18的内部开设有安装槽，所述夹板10的一端固定在安装槽的内部。
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权利要求：
百度查询： 济南紫源电子有限公司 一种硅片拿取装置
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