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申请/专利权人：上海盛剑半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种真空泵和具有其的泵送装置，所述真空泵包括：泵体，所述泵体两端分别设有第一油箱和第二油箱，所述第一油箱设有第一接口，所述第二油箱设有第二接口；第一冷却器，所述第一冷却器从所述第一接口伸入至所述第一油箱内以用于对所述第一油箱内的油液进行冷却；第二冷却器，所述第二冷却器从所述第二接口伸入至所述第二油箱内以用于对所述第二油箱内的油液进行冷却。根据本实用新型实施例的真空泵，第一冷却器和第二冷却器能够与油箱内的油液直接接触以进行换热冷却，从而能够提高冷却效果。
主权项：1.一种真空泵，其特征在于，包括：泵体，所述泵体两端分别设有第一油箱和第二油箱，所述第一油箱设有第一接口，所述第二油箱设有第二接口；第一冷却器，所述第一冷却器从所述第一接口伸入至所述第一油箱内以用于对所述第一油箱内的油液进行冷却；第二冷却器，所述第二冷却器从所述第二接口伸入至所述第二油箱内以用于对所述第二油箱内的油液进行冷却。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海盛剑半导体科技有限公司 真空泵和具有其的泵送装置
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