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申请/专利权人：江苏润达新能源科技有限公司

摘要：本发明公开了一种温度分布均匀的石墨舟，本发明涉及光伏电池片PECVD镀膜技术领域，包括舟体，用于承载硅片，该舟体由多个并列且间隔安装的外船页和内船页构成，外船页与内船页的结构相同，内船页的表面开设有微孔，且微孔的分布密度从内船页的中心向两端逐渐增加，内船页表面且靠近底部位置贯穿开设有散热通道。该温度分布均匀的石墨舟，通过实时根据热电偶的监测结果，调整导热机构的各个结构部件的加热功率，实现对舟体的炉口和炉尾的垫块温度的自动调节均衡功能，实现温度的均衡分布，能够对热能进行自行存储和释放，使得温度分布更加均匀，提高硅片镀膜的一致性和质量。

主权项：1.一种温度分布均匀的石墨舟，其特征在于，包括：舟体，用于承载硅片，该舟体由多个并列且间隔安装的外船页（1）和内船页（2）构成，所述外船页（1）与内船页（2）的结构相同，所述内船页（2）的表面开设有微孔，且微孔的分布密度从内船页（2）的中心向两端逐渐增加，所述内船页（2）表面且靠近底部位置贯穿开设有散热通道（21），且散热通道（21）沿着内船页（2）的长边棱方向等间距开设，散热通道（21）与舟体的底部相通，所述外船页（1）和内船页（2）上共同呈线性阵列状插装有第一陶瓷棒（6），且所述第一陶瓷棒（6）沿着内船页（2）的长边棱方向线性阵列安装；石墨垫块，用于将外船页（1）和内船页（2）保持间距，该石墨垫块具有一对安装在炉口的前置垫块，以及安装在炉尾的后置垫块，所述前置垫块和后置垫块结构相同，所述前置垫块包括第一垫块组（3）和第二垫块组（4），且所述第一垫块组（3）通过舟体安装在第二垫块组（4）上方，所述外船页（1）通过第一垫块组（3）和第二垫块组（4）配合与内船页（2）呈并列交替状安装；温度均衡系统，用于对舟体进行加热控温，该温度均衡系统包括导热机构、热电偶（12）和控制单元，所述导热机构包括导热件（5）、第一电加热丝环（9）和第二电加热丝环（13），所述导热件（5）嵌合安装在舟体顶部，所述导热件（5）安装在外船页（1）和内船页（2）之间的顶部，所述第一垫块组（3）和第二垫块组（4）内部均安装有第一电加热丝环（9），所述第二电加热丝环（13）安装在第一电加热丝环（9）的左右两侧，所述第一电加热丝环（9）用于对石墨垫块加热。

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