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申请/专利权人：中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司;华能新能源股份有限公司
摘要：本申请公开了一种镀膜方法，包括：将待镀膜基板放入镀膜腔室，其中，所述镀膜腔室内具有蒸发舟；所述蒸发舟具有放置有蒸发料源的凹槽；为所述蒸发舟的正极以及负极加电，使得所述蒸发料源蒸发，以对所述待镀膜基板的表面进行镀膜；其中，所述凹槽具有靠近所述正极的第一端和靠近所述负极的第二端；在所述正极以及所述负极加电镀膜过程中，所述第一端与所述第二端之间的电流满足恒流条件。本申请技术方案在蒸发镀膜过程中，使得所述蒸发舟的第一端和第二端之间满足恒流条件，从而使得凹槽不同位置加热温度均匀，保证了镀膜膜厚的均匀性。
主权项：1.一种镀膜方法，其特征在于，所述镀膜方法包括：将待镀膜基板放入镀膜腔室，其中，所述镀膜腔室内具有蒸发舟；所述蒸发舟具有放置有蒸发料源的凹槽；为所述蒸发舟的正极以及负极加电，使得所述蒸发料源蒸发，以对所述待镀膜基板的表面进行镀膜；其中，所述凹槽具有靠近所述正极的第一端和靠近所述负极的第二端；在所述正极以及所述负极加电镀膜过程中，设置所述蒸发舟的阻抗从所述第一端到所述第二端的方向上降低，以控制所述第一端与所述第二端之间的电流满足恒流条件；设置所述蒸发舟的阻抗从所述第一端到所述第二端的方向上降低，包括：设置所述凹槽底部的厚度从所述第一端到所述第二端逐渐增大，以补偿从所述第一端到所述第二端的电流衰减；或，设置所述凹槽的底部从所述第一端到所述第二端的厚度均匀不变，在所述凹槽的底部外侧表面设置电接触的补偿组件，以补偿从所述第一端到所述第二端的电流衰减。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 华能新能源股份有限公司 一种镀膜方法
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