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申请/专利权人：成都中科卓尔智能科技集团有限公司
摘要：本发明涉及一种镀膜系统，包括真空室和设置于真空室的转动工装，转动工装包括可转动安装的回转部件、第一驱动模块、第二驱动模块以及若干镀膜转台；镀膜转台分别可转动的连接于旋转支架，镀膜转台分别适配回转部件，并与回转部件传动连接；旋转支架可转动的连接于机架；第一驱动模块与旋转支架传动连接，用于驱动各镀膜转台分别绕回转部件的回转中心同步公转，并同步带动各镀膜转台自转；所述第二驱动模块与所述回转部件传动连接，用于驱动各镀膜转台自转；本镀膜系统，具有多种工作模式，可以实现镀膜转台在特定位置的自转，显著提高元件的镀膜效率，不仅可以批量镀膜，而且可以对不同的镀膜元件实现不同膜层的镀制。
主权项：1.一种镀膜系统，包括真空室和设置于真空室内的转动工装，其特征在于，所述转动工装包括固定于真空室的机架、旋转支架、可转动安装于机架的回转部件、第一驱动模块、若干用于支撑治具和或元件的镀膜转台、及第二驱动模块，其中，各所述镀膜转台分别可转动的连接于旋转支架，并沿回转部件回转中心的圆周方向分布，各镀膜转台分别适配所述回转部件，并分别与回转部件传动连接；所述旋转支架可转动的连接于所述机架，且旋转支架的回转中心与回转部件的回转中心重合；所述第一驱动模块与所述旋转支架传动连接，用于驱动各镀膜转台分别绕回转部件的回转中心同步公转，并同步带动各镀膜转台自转；所述第二驱动模块与所述回转部件传动连接，用于驱动各镀膜转台自转；还包括可转动安装的内轴及可转动安装于机架的外轴，所述外轴构造有贯穿两端的中心孔，外轴通过所述中心孔套设于内轴的外侧，且内轴的回转中心与外轴的回转中心重合，内轴为空心结构；所述旋转支架连接于所述内轴，且内轴传动连接所述第一驱动模块，所述回转部件连接于所述外轴，且外轴传动连接所述第二驱动模块；或，所述旋转支架连接于所述外轴，且外轴传动连接所述第一驱动模块，所述回转部件连接于所述内轴，且内轴传动连接所述第二驱动模块。
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权利要求：
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