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申请/专利权人：阿托库贝系统股份公司
摘要：本发明涉及一种用于利用扫描探针显微镜来测量样品的介电特性的方法。特别地，本发明涉及使用以两个振荡频率机械驱动在本文中被称为“主动双模态操作”的原子力显微镜AFM探针和调制的电磁辐射源在样品表面上的高度局部化的光学成像和光谱术。
主权项：1.一种利用扫描探针显微镜来测量样品的介电特性的方法，所述扫描探针显微镜包括振荡悬臂探针、样品和电磁辐射源，所述方法包括步骤：a引起所述悬臂以至少两个频率f1和f2的振荡，其中，f1在所述悬臂的机械振荡共振频率fc1的半最大峰值处的全宽度内，并且f2在所述悬臂的机械振荡共振频率fc2的半最大峰值处的全宽度内；b使所述探针与所述样品相互作用；c利用电磁辐射以调制频率fm照射所述探针或者所述样品的包括与所述探针接触的部位的区域；以及d测量由于以调制频率fm调制的辐射造成的所述悬臂的机械振荡共振频率fc1或者fc2中的任一个的变化，以便确定所述样品的介电特性。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 阿托库贝系统股份公司 用于测量光学相互作用的主动双模态AFM操作
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