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申请/专利权人：颀中科技(苏州)有限公司;合肥颀中科技股份有限公司
摘要：本发明涉及半导体技术领域，具体公开了一种载具。载具包括基座、位于基座前侧的第一调节块、位于第一调节块前侧的第二调节块、连接基座和第一调节块的第一调节组件、连接第二调节块和第一调节块的第二调节组件、连接于第一调节块的用于固定样品的固定块、连接于第二调节块并位于固定块前侧的遮板，第一调节组件用于沿横向方向和上下方向调节第一调节块相对基座的位置，第二调节组件用于沿上下方向调节第二调节块相对第一调节块的位置。本发明提供的载具中，固定块相对基座的位置可调节改变，遮板相对固定块的位置也可调节改变，样品固定在固定块上时，载具可与离子束发射装置配合，使离子束发射装置所发射的离子束能够准确去除样品上的失效部分。
主权项：1.一种载具，其特征在于，包括基座、位于所述基座前侧的第一调节块、位于所述第一调节块前侧的第二调节块、连接所述基座和所述第一调节块的第一调节组件、连接所述第二调节块和所述第一调节块的第二调节组件、连接于所述第一调节块的用于固定样品的固定块、连接于所述第二调节块并位于所述固定块前侧的遮板，所述第一调节组件用于沿横向方向和上下方向调节所述第一调节块相对所述基座的位置，所述第二调节组件用于沿上下方向调节所述第二调节块相对所述第一调节块的位置。
全文数据：
权利要求：
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