龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：浙江晶阳机电股份有限公司
摘要：本发明涉及半导体材料生产设备技术领域，公开了一种多圈分层冷却晶棒的装置，包括接头，接头的底部固定连接有连接杆，连接杆的一侧固定连接有定位块，定位块的底部固定连接有固定杆，固定杆上固定套设有固定环，固定杆的底部固定连接有冷却组件；冷却组件用于对加工生成的晶棒进行冷却，在使用过程中，整个冷却装置通过定位块进行安装定位，使水冷屏底面与原料液面处于适当距离，通过冷却装置中的冷却组件内水循环，从而实现对生产过程中的晶棒进行冷却，同时通过水冷屏不同的分层形式满足不同使用环境、不同工况以及不同工艺的使用需求，实现对各种情况下均能对晶棒进行均匀冷却的效果。
主权项：1.一种多圈分层冷却晶棒的装置，其特征在于：包括接头1，所述接头1的底部固定连接有连接杆2，所述连接杆2的一侧固定连接有定位块3，所述定位块3的底部固定连接有固定杆4，所述固定杆4上固定套设有固定环5，所述固定杆4的底部固定连接有冷却组件；所述冷却组件用于对加工生成的晶棒进行冷却；所述冷却组件包括连接在所述固定杆4底部的水冷屏6，所述水冷屏6内部螺纹安装有内圈水道7和外圈水道8，所述内圈水道7与所述外圈水道8的一端设有进水口，另一端设有出水口，所述内圈水道7和所述外圈水道8在所述水冷屏6内形成可循环的水路；所述接头1上开设有内螺纹和外螺纹，所述内螺纹用于连接出水管，所述外螺纹用于固定整个冷却装置；所述水冷屏6内部开设有内圈拉晶孔9与外圈拉晶孔10，所述内圈拉晶孔9与所述外圈拉晶孔10的圈数大于等于一，所述内圈水道7与所述外圈水道8围绕所述内圈拉晶孔9与所述外圈拉晶孔10均匀分布，所述水冷屏6的底部设有分层水冷11；所述固定环5用于对整个冷却的装置的稳定性进行加强固定；所述接头1、所述连接杆2以及所述定位块3的内部中空形成出水通路；所述内圈水道7与所述外圈水道8之间可通过进水口在所述水冷屏6内形成一路或多路水道，且所述内圈水道7与所述外圈水道8在出水口汇合；所述水冷屏6内设有调节杆12，所述调节杆12用于调节所述水冷屏6之间的距离；所述水冷屏6中心位置处安装有保温层，所述保温层的厚度可以根据不同工艺条件进行搭配。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江晶阳机电股份有限公司 一种多圈分层冷却晶棒的装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号