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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：粒子束装置包括导电物体402和载物台404，载物台被配置为支撑物体414。载物台包括台体和导电涂层420，导电涂层被提供在台体的表面的至少一部分上。导电物体被设置为与导电涂层邻近并且台体被提供有与导电涂层的边缘部分邻近的特征502。该特征被布置为使得当电压被施加到导电物体和导电涂层两者时，降低导电涂层的边缘部分的附近区域的电场强度。
主权项：1.一种粒子束装置，包括：导电物体；和载物台，被配置为支撑物体，所述载物台包括：台体；和导电涂层，被提供在所述台体的表面的至少一部分上；其中所述导电物体被设置为使得所述导电物体的至少一部分面向所述导电涂层，并且其中所述台体设置有轮廓形状，所述轮廓形状包括所述台体的所述表面在所述导电涂层的边缘部分处或在所述导电涂层的边缘部分附近的形状的偏差，所述偏差被布置成当电压被施加到所述导电物体和所述导电涂层两者时，降低所述边缘部分的附近区域的电场强度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 适用于粒子束装置的台架装置
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