买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
申请/专利权人:中能兴盛(香河)机电设备有限公司
摘要:本发明涉及单晶生长技术领域,本发明公开了一种晶体炉的控制方法;包括获取基础运行参数,判定晶体炉是否满足运维控制需求,采集晶体炉在采集时段中的综合运行参数,预测出下一采集时段晶体状态值,并判定是否发出控制提示,识别出控制目标数据,并制定出对应的优化控制指令,控制晶体炉执行优化控制指令;相对于现有技术,能够根据上一采集时段的晶体炉运行数据准确且提前预测出下一采集时段的晶体状态值,从而可以提前预测出单晶材料即将出现的低质量现象,制定并执行与控制目标数据相对应的控制指令,使得晶体炉能够在出现晶体低质量现象之前实施优化控制措施,有效的避免了实时采集数据实时分析预测方式导致的控制滞后性的问题。
主权项:1.一种晶体炉的控制方法,应用于控制终端,其特征在于,包括:S1:获取晶体炉的基础运行参数,并基于安全运维准则,判定晶体炉是否满足运维控制需求;若满足运维控制需求,执行S2;若不满足运维控制需求,重复执行S1;S2:从采集周期中划分出采集时段,并采集晶体炉在采集时段中的综合运行参数,综合运行参数包括局域温度递增值、炉压衰减率和单晶直径恒定度;S3:将采集到的综合运行参数输入到提前训练好的预测出下一采集时段晶体状态值的状态预测模型中,预测出下一采集时段晶体状态值,并判定是否发出控制提示;若不发出控制提示,重复执行S3;若发出控制提示,执行S4-S5;S4:从综合运行参数中识别出控制目标数据,并制定出对应的优化控制指令,优化控制指令包括降低局域温度递增值指令、降低炉压衰减率指令和升高单晶直径恒定度指令;S5:统计控制目标数据的数量,并结合执行优先级,控制晶体炉执行优化控制指令,直至不发出控制提示。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 中能兴盛(香河)机电设备有限公司 一种晶体炉的控制方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。