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申请/专利权人:中电化合物半导体有限公司
摘要:本实用新型公开了一种晶体生长坩埚,至少包括:坩埚盖;混合腔,设置在所述坩埚盖的一侧;至少一个原料装填部,所述原料装填部设置在所述混合腔远离所述坩埚盖的一侧,且所述原料装填部与所述混合腔可拆卸连接;以及多孔隔板,设置在所述坩埚盖和所述混合腔之间。通过本实用新型提供的晶体生长坩埚,能够改善原料内部受热不均的问题,提高晶体质量。
主权项:1.一种晶体生长坩埚,其特征在于,至少包括:坩埚盖;混合腔,设置在所述坩埚盖的一侧;至少一个原料装填部,所述原料装填部设置在所述混合腔远离所述坩埚盖的一侧,且所述原料装填部与所述混合腔可拆卸连接;以及多孔隔板,设置在所述坩埚盖和所述混合腔之间。
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百度查询: 中电化合物半导体有限公司 一种晶体生长坩埚
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