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申请/专利权人:天合光能股份有限公司
摘要:本申请提供用于太阳能电池扩散工艺的换热器和尾气排放过滤系统,换热器包括壳体、多个上冷凝板、多个下冷凝板和冷凝管路,壳体设有进气口和出气口;多个上冷凝板和多个下冷凝板分别固定于壳体的上侧内壁和下侧内壁,多个下冷凝板与多个上冷凝板交错间隔置;冷凝管路贴设于壳体并与上、下冷凝板相对设置,冷凝管路内具有对上、下冷凝板降温的冷凝介质。本申请中尾气中的水汽在经过壳体时被冷凝,尾气沿出气口排出时可达到预设水汽含量,以降低进入真空泵的尾气的水汽含量,不易出现尾气中固相颗粒与水汽配合以附着在真空泵内的情况,提升了真空泵的使用寿命。
主权项:1.一种换热器,用于太阳能电池扩散工艺,其特征在于,包括:壳体,所述壳体上的设有进气口和出气口;多个上冷凝板,固定于所述壳体的上侧内壁;多个下冷凝板,固定于所述壳体的下侧内壁,多个所述下冷凝板与多个所述上冷凝板交错间隔设置;冷凝管路,贴设于所述壳体并与所述上冷凝板、所述下冷凝板相对设置,所述冷凝管路内具有可流动的冷凝介质;其中,多个所述上冷凝板、多个所述下冷凝板和所述壳体围设成曲折的尾气通道;尾气依次经过所述进气口、所述尾气通道和所述出气口。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 天合光能股份有限公司 换热器和尾气排放过滤系统
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