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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本发明公开了一种掺杂镓钬的氧化锡靶材及其制备方法，该制备方法包括以下步骤：将氧化镓、氧化钬和氧化锡混合，所得混合物中，按质量百分含量计，包含氧化镓0.2%～2%，氧化钬0.1%～1%和氧化锡97%～99.7%；再加入分散剂、粘结剂和水，经造粒、模压、冷等静压、烧结，得到掺杂镓钬的氧化锡靶材。本发明的掺杂镓钬的氧化锡靶材，具有导电性能优异和可见光透过率高等优点，其用于透明导电薄膜时，可以调节薄膜的载流子浓度及禁带宽度，从而有效改善薄膜的导电性能和可见光透过率，具有很好的应用前景。
主权项：1.一种掺杂镓钬的氧化锡靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）将氧化镓、氧化钬和氧化锡混合，得到混合粉末；按质量百分含量计，所述混合粉末包含氧化镓0.2%～2%，氧化钬0.1%～1%，氧化锡97%～99.7%；（2）将步骤（1）得到的混合粉末、分散剂、粘结剂和水混合，得到浆料；（3）将步骤（2）得到的浆料依次进行造粒、模压、冷等静压，得到靶材素坯；（4）将步骤（3）得到的靶材素坯进行烧结，得到掺杂镓钬的氧化锡靶材。
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权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 掺杂镓钬的氧化锡靶材及其制备方法
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