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申请/专利权人：苏州普瑞赛光电科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种真空镀膜用靶材固定装置，包括底板，所述底板的一侧通过滑动机构安装有夹板，所述夹板的一侧通过定位机构安装有靶材本体，所述夹板的一侧开设有安装槽，所述安装槽的内壁滑动安装有安装块，所述安装块的一侧开设有限位槽，所述夹板的内部开设有槽口。通过滑动两组夹板进行相向移动，使得两组夹板对其靶材本体进行夹紧，同时定位块插入到定位槽的内壁完成定位，安装块插入到安装槽的内壁进一步进行定位设置，通过转动丝杆带动限位柱进行移动，使得限位柱插入到限位槽的内壁，即可对其安装块进行限位固定，当需要对其靶材本体进行拆卸时，通过转动丝杆带动限位柱进行移动，使得限位柱离开限位槽的内壁。
主权项：1.一种真空镀膜用靶材固定装置，包括底板1，其特征在于，所述底板1的一侧通过滑动机构安装有夹板4，所述夹板4的一侧通过定位机构安装有靶材本体7，所述夹板4的一侧开设有安装槽8，所述安装槽8的内壁滑动安装有安装块9，所述安装块9的一侧和靶材本体7的一侧呈固定安装，所述安装块9的一侧开设有限位槽10，所述夹板4的内部开设有槽口11，所述槽口11的内壁通过移动机构安装有限位柱14，所述限位柱14的表面和限位槽10的内壁相配合，所述底板1的一侧设置有安装机构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州普瑞赛光电科技有限公司 一种真空镀膜用靶材固定装置
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