龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：深圳市汇芯通信技术有限公司
摘要：本发明属于半导体技术领域，公开了一种光刻多复用装置及其制作方法，所述装置包括设置于光刻机载片台与曝光光源之间的水平支架，以及内嵌于水平支架上的圆形镂空区；所述圆形镂空区中间设置有若干隔离带，且所述若干隔离带等面积分割所述圆形镂空区；所述水平支架上设置有滑轨凹槽，且所述滑轨凹槽设置于所述圆形镂空区的外周；所述圆形镂空区的上方设置有具有镂空结构的遮光罩，且所述遮光罩的支撑脚活动安装于所述滑轨凹槽中。本发明提供的光刻多复用装置，通过在相邻的两条隔离带中间转动所述遮光罩的镂空结构，可以在一片晶圆上形成若干曝光区域，并且能够通过相邻的两个隔离带区分出晶圆上的各个曝光区域。
主权项：1.一种光刻多复用装置，其特征在于，包括：设置于光刻机载片台与曝光光源之间的水平支架，以及内嵌于水平支架上的圆形镂空区；所述圆形镂空区中间设置有若干隔离带，且所述若干隔离带等面积分割所述圆形镂空区；所述水平支架上设置有滑轨凹槽，且所述滑轨凹槽设置于所述圆形镂空区的外周；所述圆形镂空区的上方设置有具有镂空结构的遮光罩，且所述遮光罩的支撑脚活动安装于所述滑轨凹槽中。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市汇芯通信技术有限公司 一种光刻多复用装置及其制作方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号