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申请/专利权人：陕西科技大学
摘要：本申请公开了一种MEMS微镜、制造方法及基于该微镜的二维电磁式微扫描镜，属于电子信息技术领域，包括磁体底盒，磁体底盒内设置有环形磁铁组，环形磁铁组上方设置有MEMS微镜，MEMS微镜上方设置有窗口盖，窗口盖与磁体底盒的上端固定；电磁式驱动微镜能够在较低的外加电压下可实现大角度的偏转，具有电流线性驱动的优势；采用以MEMS微镜为核心的扫描执行器件，可进一步优化激光雷达系统体积和成本和能耗，提高系统的集程度，具有体积小、功耗低、扫描速度高、集成度高的优点。磁驱动取代了大体积的旋转电机，且单个MEMS微镜就可以实现激光束的二维图案化扫描，等效的多线激光扫描的竖直方向分辨率更高且相较于多组激光发射接收模组的性价比更高。
主权项：1.一种MEMS微镜的制造方法，其特征在于，包括：S1：先在底片13进行线圈层掩膜光刻；S2：线圈层掩膜光刻后利用磁控溅射镀膜机对底片13溅射沉积，先沉积Cr金属膜，再沉积Cu，用丙酮溶液浸泡之后再用无水乙醇和纯净水交替清洗，完成金属导线的剥离；S3：金属导线剥离后再进行正面结构层刻蚀，先掩膜光刻，再采用干法刻蚀ICP刻蚀正面结构层；S4：最后背面腔体刻蚀与结构层释放，采用紫外激光进行微镜结构层的释放。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 陕西科技大学 MEMS微镜、制造方法及基于该微镜的二维电磁式微扫描镜
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