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申请/专利权人：中国科学院半导体研究所
摘要：本公开提供了一种变形镜，包括薄膜镜面、极头、致动器阵列和基座。致动器采用预紧力外壳封装的压电柱，并阵列化布置，与基座连接，通过极头固定镜面。该变形镜通过减小致动器尺寸并使用强预紧力，提高谐振频率；通过降低镜面厚度，使镜面快速跟随驱动力变化，减少响应时间；通过极头确保有效驱动力传递并减少应力干扰，从而显著提升变形镜的动态性能。
主权项：1.一种变形镜，其特征在于，包括：薄膜镜面（7）、极头（3）、致动器阵列（8）和基座（6）；所述致动器阵列（8）中的单个致动器采用预紧力外壳（5）封装压电柱（4）构成，垂直设于所述基座（6）上；所述极头（3）设于所述致动器的上端，将所述致动器阵列（8）、基座（6）与所述薄膜镜面（7）紧配连接，构成所述变形镜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院半导体研究所 变形镜
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