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申请/专利权人：株式会社小糸制作所
摘要：测定装置1具备：生成装置10，其生成进行了频率调制的光；光学装置20，其向对象物90照射光，并且使来自对象物的反射光与参照光干涉；检测装置30，其检测反射光与参照光的干涉波，并输出差拍信号；以及信号处理装置40，其基于差拍信号的拍频的经时变化来求出到对象物的距离。
主权项：1.一种测定装置，其特征在于，具备：生成装置，所述生成装置生成进行了频率调制的光；光学装置，所述光学装置向对象物照射所述光，并且使来自对象物的反射光与参照光干涉；检测装置，所述检测装置检测所述反射光与所述参照光的干涉波，并输出差拍信号；以及信号处理装置，所述信号处理装置基于所述差拍信号的拍频的经时变化来求出到所述对象物的距离。
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