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申请/专利权人：哈恩-席卡德应用研究学会
摘要：本发明的一方面涉及一种MEMS换能器，该MEMS换能器包括可振动膜，所述可振动膜用于在竖向发射方向上生成压力波或者接收压力波。可振动膜由承载件保持并且具有竖向部段，这些竖向部段形成为与发射方向或接收方向基本上平行并且包括由致动器材料制成的至少一个层。优选地，可振动膜在端部面处与电极接触，使得通过控制所述电极，在竖向部段中可以被致使以进行水平振动，或者使得当在竖向部段中进行水平振动时，可以在电极上生成电信号。竖向部段和或水平部段具有一个或更多个凹凸部和或弱化区域。本发明的另一方面涉及一种用于制造根据本发明的MEMS换能器的方法。
主权项：1.一种用于与流体的体积流相互作用的MEMS换能器，所述MEMS换能器包括：承载件2和可振动膜1，所述可振动膜1用于在竖向方向上生成所述流体的压力波或者接收所述流体的压力波，所述可振动膜1附接到所述承载件2，并且所述可振动膜1与至少一个电极接触，其中，所述可振动膜1具有竖向部段3和水平部段5，其中，所述竖向部段3形成为基本上平行于所述竖向方向，并且所述水平部段5将所述竖向部段3彼此连接，使得能够通过驱动所述至少一个电极来致使所述竖向部段3进行水平地振动，或者使得在所述竖向部段3被致使进行水平地振动时能够在所述电极处生成电信号，其特征在于，所述竖向部段3和或所述水平部段5具有一个或更多个凹凸部7和或弱化区域19。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 哈恩-席卡德应用研究学会 竖向MEMS换能器膜的电枢结构上的凹凸部或弱化区域
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