龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：株式会社东京精密
摘要：提供一种能更正确地预测探针的前端位置的探测器控制装置、探测器控制方法以及探测器。在使探针与半导体芯片接触的探测器控制装置中，具备：输入数据取得部，取得包括探针卡以及卡保持架的至少一方的温度数据在内的输入数据；预测部，基于输入数据取得部取得的输入数据，使用将输入数据作为输入且将探针的前端位置作为输出的预测模型，预测探针的前端位置；和决定部，在预测部的预测前，基于在预测模型的机器学习中用作教示数据的输入数据和输入数据取得部取得的输入数据，决定可否执行预测部所进行的预测。
主权项：1.一种探测器控制装置，驱动探测器的相对移动部而使探针与半导体芯片接触，所述探测器具备：晶圆卡盘，对形成了多个所述半导体芯片的晶圆进行保持；探针卡，具有所述探针；卡保持架，保持所述探针卡的外周并使所述探针卡与所述晶圆对置；和所述相对移动部，使所述晶圆卡盘相对于所述探针相对移动，所述探测器控制装置具备：输入数据取得部，取得包括所述探针卡以及所述卡保持架的至少一方的温度数据在内的输入数据；预测部，基于所述输入数据取得部取得的所述输入数据，使用将所述输入数据作为输入且将所述探针的前端位置作为输出的预测模型，预测所述探针的前端位置；和决定部，在所述预测部的预测前，基于在所述预测模型的机器学习中用作教示数据的所述输入数据和所述输入数据取得部取得的所述输入数据，决定可否执行所述预测部所进行的预测，所述决定部进行以下处理：按所述输入数据的每个参数，运算所述输入数据取得部取得的所述输入数据与用作所述教示数据的所述输入数据的差分；和按每个所述参数运算所述差分的和的平方根，基于在每个所述参数的所述差分的和的平方根中，处于预先给定的恒定范围内的和的平方根是否有至少一个，判定可否执行所述预测部所进行的预测。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社东京精密 探测器控制装置、探测器控制方法以及探测器
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号